Abstract:
Приведены результаты работ по проектированию и изготовлению теплового узла для резистивной ростовой установки для выращивания на воздухе при температуре до 1300 °С методом Степанова. При конструировании представленного элемента ростового оборудования были учтены все требования, предъявляемые к высокотемпературному оборудованию. Конструкция теплового узла показала свою работоспособность, а именно: обеспечение равномерности температурного поля, возможность с высокой точностью задавать температурный градиент, долговременная работа ростовой системы.
Construction of heat system of single crystal growth deviсe is presented. This heat system has demonstrated its efficiency. It provides a uniform temperature field, allows to set accurately the temperature gradient, provides long-term functioning of the growth system.
Description:
Винник Денис Александрович, кандидат технических наук, доцент кафедры физической химии, Южно-Уральский государственный университет. Тел.: (351)2679491. E-mail: denwin@rambler.ru
Vinnik Denis Alexandrovich, candidate of engineering science, associate professor of the Physical Chemistry department, South Ural State University. Tel.: (351)2679491. E-mail: denwin@rambler.ru Арчугов Сергей Александрович, кандидат технических наук, ведущий инженер-электронщик кафедры физической химии, Южно-Уральский
государственный университет. Тел.: (351)2679491.
Archugov Sergey Alexandrovich, candidate of engineering science, principal electronic engineer of the Physical Chemistry department, South Ural State University. Tel.: (351)2679491. Михайлов Геннадий Георгиевич, доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой физической химии, Южно-Уральский государственный университет. Тел. (351)2656205.
Mikhailov Gennady Georgievich, doctor of engineering science, professor, head of the Physical Chemistry department, South Ural State University. Tel.: (351)2656205.
